Film deposition by plasma techniques /
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Berlin :
Springer,
1992
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| Ausgabe: | [1st ed.] |
| Schriftenreihe: | Series on atoms and plasmas
Vol. 10 |
| Schlagworte: | |
| ISBN: | 3540540571 |
| Online-Zugang: |
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| Tags: |
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| Beschreibung: | IX, 224 s. : grafy, lit., obr., tab. ; |
|---|---|
| ISBN: | 3540540571 |