Диагностика материалов для газовых сенсоров на основе дисилицида молибдена

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Titel: Диагностика материалов для газовых сенсоров на основе дисилицида молибдена
Verlagsinformationen: КДУ, 2023.
Publikationsjahr: 2023
Schlagwörter: плазменное напыление, газовые сенсоры, ионно-ассистированное осаждение, методы резерфордовского обратного рассеяния, модифицированное осаждение Мо покрытий, металлические покрытия, дисилицид молибдена
Publikationsart: Article
Dateibeschreibung: application/pdf
Sprache: Russian
Zugangs-URL: https://rep.bsatu.by/handle/doc/20663
Dokumentencode: edsair.od......4262..b5da182dc97b1f766a982778d28bbbc7
Datenbank: OpenAIRE