Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок
Uloženo v:
| Název: | Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок |
|---|---|
| Informace o vydavateli: | 2009. |
| Rok vydání: | 2009 |
| Témata: | тонкие пленки, ионно-ассистированное нанесение покрытий, металлосодержащие покрытия, кремний |
| Druh dokumentu: | Article |
| Popis souboru: | application/pdf |
| Jazyk: | Russian |
| Přístupová URL adresa: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102 |
| Přístupové číslo: | edsair.od......4262..6fc80938e04c6ac73d1e9e822a8e5f9b |
| Databáze: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science | Žádný popis. |