Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок
Gespeichert in:
| Titel: | Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок |
|---|---|
| Verlagsinformationen: | 2009. |
| Publikationsjahr: | 2009 |
| Schlagwörter: | тонкие пленки, ионно-ассистированное нанесение покрытий, металлосодержащие покрытия, кремний |
| Publikationsart: | Article |
| Dateibeschreibung: | application/pdf |
| Sprache: | Russian |
| Zugangs-URL: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102 |
| Dokumentencode: | edsair.od......4262..6fc80938e04c6ac73d1e9e822a8e5f9b |
| Datenbank: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science Schreiben Sie den ersten Kommentar!