Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок
Saved in:
| Title: | Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок |
|---|---|
| Publisher Information: | 2009. |
| Publication Year: | 2009 |
| Subject Terms: | тонкие пленки, ионно-ассистированное нанесение покрытий, металлосодержащие покрытия, кремний |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102 |
| Accession Number: | edsair.od......4262..6fc80938e04c6ac73d1e9e822a8e5f9b |
| Database: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science | Description not available. |