(2009). Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок. 2009.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок. 2009.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.