Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr
Saved in:
| Title: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr |
|---|---|
| Publisher Information: | БГТУ, 2021. |
| Publication Year: | 2021 |
| Subject Terms: | условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, пластины монокристаллического кремния, кремниевые пластины, металлические покрытия, резерфордовское обратное рассеяние |
| Description: | В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..ede8c446c06f8cd11cc2e9433beadbf0 |
| Database: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science Be the first to leave a comment!