Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr
Uloženo v:
| Název: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr |
|---|---|
| Informace o vydavateli: | БГТУ, 2021. |
| Rok vydání: | 2021 |
| Témata: | условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, пластины монокристаллического кремния, кремниевые пластины, металлические покрытия, резерфордовское обратное рассеяние |
| Popis: | В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами. |
| Druh dokumentu: | Article |
| Popis souboru: | application/pdf |
| Jazyk: | Russian |
| Přístupová URL adresa: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602 |
| Přístupové číslo: | edsair.od......3992..ede8c446c06f8cd11cc2e9433beadbf0 |
| Databáze: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science Buďte první, kdo okomentuje tento záznam!