Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr
Gespeichert in:
| Titel: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr |
|---|---|
| Verlagsinformationen: | БГТУ, 2021. |
| Publikationsjahr: | 2021 |
| Schlagwörter: | условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, пластины монокристаллического кремния, кремниевые пластины, металлические покрытия, резерфордовское обратное рассеяние |
| Beschreibung: | В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами. |
| Publikationsart: | Article |
| Dateibeschreibung: | application/pdf |
| Sprache: | Russian |
| Zugangs-URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602 |
| Dokumentencode: | edsair.od......3992..ede8c446c06f8cd11cc2e9433beadbf0 |
| Datenbank: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science Schreiben Sie den ersten Kommentar!