View in EDS

Ионно-ассистированное в условиях саморадиациии осаждение покрытий

Saved in:
Bibliographic Details
Title: Ионно-ассистированное в условиях саморадиациии осаждение покрытий
Publisher Information: БГТУ, 2024.
Publication Year: 2024
Subject Terms: саморадиация, ионно-ассистированное осаждение, осаждение покрытий, энергосберегающие электроды, тонкие пленки, покрытия
Description: Сообщается о развитии структуры и состава пленок на основе металлов на подложке, сформированной путем самоионного осаждения металла (Me-Ti, Cr, Zr, MO, W) на кремний, алюминий и алюминиевые сплавы, сталь, эластомер с использованием метода, в котором осаждение Me сопровождалось бомбардировкой 5, 10 или 20 кэВ. Анализ проводился с использованием методов RBS, TEM, EDS, SIMS, PIN, PULL TEST и NMA. Установлено, что пленки имеют равномерную толщину, являются аморфными в области интерфейса и включают небольшие (до 10 нм) поликристаллические выделения Me. Элементный анализ покрытий показывает высокое содержание кислорода, углерода, водорода и элементов из подложки.
Document Type: Article
File Description: application/pdf
Language: Russian
Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67626
Accession Number: edsair.od......3992..783ee35eaaf8d7e0df3902c410c8c97a
Database: OpenAIRE
Description
Abstract:Сообщается о развитии структуры и состава пленок на основе металлов на подложке, сформированной путем самоионного осаждения металла (Me-Ti, Cr, Zr, MO, W) на кремний, алюминий и алюминиевые сплавы, сталь, эластомер с использованием метода, в котором осаждение Me сопровождалось бомбардировкой 5, 10 или 20 кэВ. Анализ проводился с использованием методов RBS, TEM, EDS, SIMS, PIN, PULL TEST и NMA. Установлено, что пленки имеют равномерную толщину, являются аморфными в области интерфейса и включают небольшие (до 10 нм) поликристаллические выделения Me. Элементный анализ покрытий показывает высокое содержание кислорода, углерода, водорода и элементов из подложки.