View in EDS

Элементный состав и микротвердость структур Mo-W/Al, Ti-Mo-W/Al, сформированных последовательным осаждением покрытий

Saved in:
Bibliographic Details
Title: Элементный состав и микротвердость структур Mo-W/Al, Ti-Mo-W/Al, сформированных последовательным осаждением покрытий
Publisher Information: БГТУ, 2021.
Publication Year: 2021
Subject Terms: саморадиация, вольфрам, ионно-ассистированное осаждение, алюминий, гелий, молибден, титан, микротвердость, покрытия, резерфордовское обратное рассеяние
Description: На алюминий последовательно наносились покрытия на основе W, Mo и Ti методом ионно-ассистированного осаждения в условиях саморадиации. С помощью резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием проводился послойный элементный анализ полученных структур. Установлено, что в сформированные структуры входят, кроме атомов основы покрытия, Ме (5 ат. %), атомы кислорода (15–20 ат. %), углерода (60–70 ат. %) и атомы материала подложки железа (6–8 ат. %). Обсуждены причины, приводящие к формированию сложного композиционного состава и изменению микротвердости полученных структур.
Document Type: Article
File Description: application/pdf
Language: Russian
Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/40563
Accession Number: edsair.od......3992..50da8b2278322ee84467c8d0f2d6d97b
Database: OpenAIRE
Description
Abstract:На алюминий последовательно наносились покрытия на основе W, Mo и Ti методом ионно-ассистированного осаждения в условиях саморадиации. С помощью резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием проводился послойный элементный анализ полученных структур. Установлено, что в сформированные структуры входят, кроме атомов основы покрытия, Ме (5 ат. %), атомы кислорода (15–20 ат. %), углерода (60–70 ат. %) и атомы материала подложки железа (6–8 ат. %). Обсуждены причины, приводящие к формированию сложного композиционного состава и изменению микротвердости полученных структур.