Компьютерное моделирование образования первичных ростовых микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния
Gespeichert in:
| Titel: | Компьютерное моделирование образования первичных ростовых микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния |
|---|---|
| Quelle: | Радіоелектроніка, інформатика, управління. |
| Verlagsinformationen: | Запорожский национальный технический университет, 2010. |
| Publikationsjahr: | 2010 |
| Schlagwörter: | РОСТОВЫЕ МИКРОДЕФЕКТЫ,БЕЗДИСЛОКАЦИОННЫЙ МОНОКРИСТАЛЛ КРЕМНИЯ,ПЕРВИЧНЫЕ РОСТОВЫЕ ДЕФЕКТЫ,ГЕТЕРОГЕННЫЙ МЕХАНИЗМ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ |
| Beschreibung: | Представлена математическая модель и компьютерная программа расчета для процесса образования первичных ростовых микродефектов в бездислокационном монокристалле кремния на основе диссоциативного процесса диффузии. |
| Publikationsart: | Article |
| Dateibeschreibung: | text/html |
| Sprache: | Russian |
| ISSN: | 2313-688X 1607-3274 |
| Zugangs-URL: | http://cyberleninka.ru/article/n/kompyuternoe-modelirovanie-obrazovaniya-pervichnyh-rostovyh-mikrodefektov-v-bezdislokatsionnyh-monokristallah-kremniya http://cyberleninka.ru/article_covers/15580845.png |
| Dokumentencode: | edsair.od......2806..c6bbc0ce6252b8736cd6a72f67a7a1b6 |
| Datenbank: | OpenAIRE |
Nájsť tento článok vo Web of Science 
| Abstract: | Представлена математическая модель и компьютерная программа расчета для процесса образования первичных ростовых микродефектов в бездислокационном монокристалле кремния на основе диссоциативного процесса диффузии. |
|---|---|
| ISSN: | 2313688X 16073274 |