ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЦИРКОНИЯ И КИСЛОРОДА В ЛЕГИРОВАННОМ КРЕМНИИ МЕТОДОМ ДИФФУЗИИ ПРИ ТЕМПЕРАТУРЕ 900°C - 950°C ГРАДУСОВ

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Titel: ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЦИРКОНИЯ И КИСЛОРОДА В ЛЕГИРОВАННОМ КРЕМНИИ МЕТОДОМ ДИФФУЗИИ ПРИ ТЕМПЕРАТУРЕ 900°C - 950°C ГРАДУСОВ
Verlagsinformationen: Zenodo, 2025.
Publikationsjahr: 2025
Schlagwörter: Кремний, цирконий, кислород, диффузионная реакция, Раман-спектроскопия, сканирующая электронная микроскопия (SEM), термообработка, структура поверхности
Beschreibung: Исследовано взаимодействие между атомами циркония и кислородом в структуре кремния методами термической обработки при различных температурных режимах и последующего анализа структурных изменений. Проведены эксперименты по обработке образцов кремния при температуре 900 °C и 950 °C с длительностью выдержки 12 часов. Для оценки влияния процесса были использованы методы рентгеновской дифракции, спектроскопии комбинационного рассеяния света (Раман-спектроскопия) и электронной микроскопии высокого разрешения (СЭМ). Полученные данные позволили установить особенности фазовых превращений и изменения поверхностной морфологии материала.
Publikationsart: Article
DOI: 10.5281/zenodo.15781256
Rights: CC BY
Dokumentencode: edsair.doi...........c3c43ab8b3de9b5699cfed6465fe8bef
Datenbank: OpenAIRE
Beschreibung
Abstract:Исследовано взаимодействие между атомами циркония и кислородом в структуре кремния методами термической обработки при различных температурных режимах и последующего анализа структурных изменений. Проведены эксперименты по обработке образцов кремния при температуре 900 °C и 950 °C с длительностью выдержки 12 часов. Для оценки влияния процесса были использованы методы рентгеновской дифракции, спектроскопии комбинационного рассеяния света (Раман-спектроскопия) и электронной микроскопии высокого разрешения (СЭМ). Полученные данные позволили установить особенности фазовых превращений и изменения поверхностной морфологии материала.
DOI:10.5281/zenodo.15781256