View in EDS

Структура и свойства нанокомпозитных покрытий, осажденных из ускоренных ионов C60 при наклонном падении пучка

Saved in:
Bibliographic Details
Title: Структура и свойства нанокомпозитных покрытий, осажденных из ускоренных ионов C60 при наклонном падении пучка
Authors: Черноuорова О. П.
Publisher Information: 4-я международная конференция «Физика конденсированных состояний», 2025.
Publication Year: 2025
Subject Terms: осаждение из ускоренных ионов C60 при наклонном падении пучка, Структура и свойства, нанокомпозитные покрытия
Description: Осаждение из ускоренных ионов С60 с энергией 5 и 7 кэВ при температуре подложки 300-400C приводит к формированию нанокомпозитных (НК) покрытий, состоящих из нанонокристаллов графита (НГ) размером 1-2 нм, заключенных в алмазоподобную матрицу [1]. При нормальном угле падения ионов C60 возникает аксиальная текстура роста, когда графеновые плоскости НГ перпендикулярны поверхности подложки. Изменение угла падения ионного пучка изменяет направления роста графеновых слоев [2]. В докладе рассмотрена возможность управления ориентацией базовых плоскостей в зернах нанографита в процессе роста покрытия.
Document Type: Research
DOI: 10.24412/cl-37349-fks-4.217
Rights: CC BY
Accession Number: edsair.doi...........bccd5725ee54baa8c9205d640c6f978f
Database: OpenAIRE
Description
Abstract:Осаждение из ускоренных ионов С60 с энергией 5 и 7 кэВ при температуре подложки 300-400C приводит к формированию нанокомпозитных (НК) покрытий, состоящих из нанонокристаллов графита (НГ) размером 1-2 нм, заключенных в алмазоподобную матрицу [1]. При нормальном угле падения ионов C60 возникает аксиальная текстура роста, когда графеновые плоскости НГ перпендикулярны поверхности подложки. Изменение угла падения ионного пучка изменяет направления роста графеновых слоев [2]. В докладе рассмотрена возможность управления ориентацией базовых плоскостей в зернах нанографита в процессе роста покрытия.
DOI:10.24412/cl-37349-fks-4.217